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半導體級終端氣體過濾器_大宗氫氣終端過濾器


產品詳情

在半導體制程的超高純工藝氣體在線過濾領域,BF 系列半導體級終端氣體過濾器無疑是行業標桿。它專為嚴苛的超高純工藝氣體環境設計,采用全 316L 不銹鋼精密打造,從材質上就奠定了其卓越的耐腐蝕、耐高溫性能,完美適配高溫動態環境。?

其獨特的多柱狀或疊盤狀介質設計,是實現高流通量與低阻損平衡的關鍵,既能保證氣體順暢通過,又能高效攔截微粒,過濾精度高達 0.003μm,輕松滿足超高純工藝對氣體潔凈度的極致要求。?

產品核心特點:?

●?全 316L 不銹鋼構造,適配嚴苛環境?

●?高流通量低阻損,保障系統高效運行?

●?0.003μm 超高精度,攔截細微雜質?

●?耐受高溫高壓,適應動態工藝條件?

●?潔凈室全流程管控,確保無二次污染?

作為終端高純氣體過濾器的佼佼者,BF 系列經過 100% 完整性測試和氨氣檢漏測試,為半導體制程中的超純特氣過濾提供了堅實保障,是超高純工藝氣體過濾的理想之選。?


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